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      使用平面透鏡進(jìn)行超深焦距成像

      時(shí)間:2023-11-07 來(lái)源:新特光電 訪問(wèn)量:3648

      鏡頭執(zhí)行從物體到圖像平面的近似一對(duì)一映射。圖像平面上的這種映射保持在景深范圍內(nèi)(如果物體位于無(wú)限遠(yuǎn)處,則稱為焦深)。當(dāng)圖像之間的距離大于景深時(shí),鏡頭就必須重新對(duì)焦。這種重新對(duì)焦機(jī)制會(huì)增加成像系統(tǒng)的成本、復(fù)雜性和重量。

      在這里,我們展示了通過(guò)合理設(shè)計(jì)多級(jí)衍射透鏡(MDL),可以將焦深大幅提升4個(gè)數(shù)量級(jí)以上。具體來(lái)說(shuō),當(dāng)λ=0.85μm的準(zhǔn)直光照射時(shí),MDL 產(chǎn)生的光束在5mm至1200mm的范圍內(nèi)保持聚焦。測(cè)得的聚焦光束半峰全寬(FWHM)從 6.6μm(距離 MDL  5mm)到 524μm(距離 MDL 1200mm)不等。由于側(cè)面被很好地抑制,而主面接近衍射極限,因此可以在整個(gè)焦距范圍內(nèi)以 40°x30° 的水平垂直視場(chǎng)進(jìn)行成像。該演示為透鏡設(shè)計(jì)開(kāi)辟了一個(gè)新方向,即通過(guò)將焦平面上的相位作為自由參數(shù)處理,可以實(shí)現(xiàn)超深焦距成像。

      引言

      透鏡是一種光學(xué)元件,可將入射準(zhǔn)直光聚焦成焦點(diǎn)。在透鏡法線上測(cè)量到的光斑保持緊密聚焦的距離范圍通常稱為焦深(DOF)。焦深(DOF)與焦斑尺寸 W 之間存在直接關(guān)系,其公式為

      其中,NA 是鏡頭的數(shù)值孔徑,λ是照明波長(zhǎng)。用于成像時(shí),等效范圍之外的物體圖像會(huì)變得模糊。顯然,有很多理由需要擴(kuò)大這一范圍以增強(qiáng) DOF 成像。這可以通過(guò)波前編碼、計(jì)算或兩者的結(jié)合。波前編碼和相關(guān)方法(如對(duì)數(shù)非球面)通常會(huì)在分辨率和 DOF 之間進(jìn)行權(quán)衡,有時(shí)會(huì)犧牲圖像質(zhì)量,這主要是由于側(cè)面的增加。軸心可用于增強(qiáng)  DOF,但圖像分辨率和視場(chǎng)會(huì)受到嚴(yán)重影響。此外,還展示了具有多個(gè)離散焦點(diǎn)的鏡頭。瞳孔平面上的經(jīng)過(guò)優(yōu)化的調(diào)焦器以及二元相位優(yōu)化相位掩膜本身或與折射透鏡結(jié)合使用,都可用于增強(qiáng) DOF。在這種情況下,DOF 的增強(qiáng)都相對(duì)較小,小于1個(gè)數(shù)量級(jí)。許多先前的例子都需要大量的后期處理;它們的視場(chǎng)(FOV)被嚴(yán)重縮減或需要多個(gè)元素,而且往往很厚。計(jì)算增強(qiáng) DOF 也會(huì)受到噪聲放大和對(duì)采集信號(hào)信噪比的高度敏感性。表 S1總結(jié)了這一領(lǐng)域之前的相關(guān)工作。表 S1總結(jié)了這一領(lǐng)域之前的相關(guān)工作。超過(guò)衍射極限的最佳DOF增強(qiáng)值約為600,這是通過(guò)分形區(qū)板與衍射極限相結(jié)合實(shí)現(xiàn)的。在本文中,我們展示了通過(guò)適當(dāng)設(shè)計(jì)平面多級(jí)衍射透鏡 (MDL) 的設(shè)計(jì),可以將DOF增加到衍射受限情況的 104倍以上。MDL的設(shè)計(jì)目的是在衍射極限的在 Ζ= fmin 到Ζ= fmax 的整個(gè)范圍內(nèi)聚焦。距離fmin和fmax分別是最小和最大值。分別為最小如

      其中,z ε ( fmin, fmax) 和R是MDL的半徑。換句話說(shuō),正如衍射極限所預(yù)期的那樣,NA隨z變化。我們的MDL在Ζ= fmin =5mm時(shí)的NA最大為0.18。fmin - fmax =1.2m~λ*106 的范圍是新的DOF,與衍射極限情況相比,該N的最大DOF增強(qiáng)為((106*λ)/(λ/NA2))>3*104 ,這比之前演示的都要大很多個(gè)數(shù)量級(jí)。有了如此大的 DOF,就有可能從相機(jī)中移除對(duì)焦機(jī)構(gòu),從而降低成本、重量和相關(guān)復(fù)雜性。

      圖 1. (a) 顯示超深焦距(ExDOF)成像的多級(jí)衍射透鏡(MDL)示意圖。(b) MDL 的幾何形狀,焦距范圍為5~1200mm,光圈為1.8mm。(c)焦距為5~1200mm的MDL 在 y-z 平面上的模擬強(qiáng)度分布和(d)測(cè)量強(qiáng)度分布。工作波長(zhǎng)為850 nm。

      圖 2. (a) 制造的MDL的光學(xué)顯微照片,插圖顯示透鏡中心的放大視圖。  (b) 實(shí)測(cè)、模擬、和衍射極限半峰全寬(FWHM)與z的函數(shù)關(guān)系。(c-i)模擬和(j-p)測(cè)量的點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)(x軸和x軸的光強(qiáng)分布)。(x-y 平面上的光強(qiáng)分布)與z(距離 MDL)的函數(shù)關(guān)系。

      設(shè)計(jì)

      我們?cè)O(shè)計(jì)方法的靈感來(lái)自于我們最近對(duì)于強(qiáng)度成像的演示,焦平面上的相位可被視為自由參數(shù)。原則上,這將使理想透鏡問(wèn)題的無(wú)解,可以根據(jù)其他要求,如消色差或增強(qiáng)DOF選擇所需的解決方案。通過(guò)只限制在較大焦距范圍內(nèi)聚焦強(qiáng)度,并允許焦距范圍內(nèi)的相位變化,我們可以通過(guò)以下方法解決非線性相反的問(wèn)題。我們選擇省略對(duì)設(shè)計(jì)方法的深入討論,以使本文的信息足夠簡(jiǎn)潔,從而突出這項(xiàng)工作的真正意義。總的來(lái)說(shuō)我們通過(guò)選擇MDL各組成部分的高度分布,最大限度地提高M(jìn)DL的聚焦效率。總之,對(duì)于我們的極限焦深(ExDOF)MDL,聚焦效率被定義為直徑為3*FWHM的光斑內(nèi)的功率與入射功率之比,計(jì)算結(jié)果為所需聚焦范圍內(nèi)每個(gè)焦平面的功率。焦距范圍是指從 MDL 測(cè)得的距離范圍[圖1(a) 中的 fmax-fmin]。環(huán)高的選擇基于梯度下降定向二元搜索技術(shù)。該優(yōu)化程序與傳統(tǒng)的菲涅爾-基爾霍夫衍射積分相結(jié)合,為光束傳播建模。在整個(gè)Z 范圍內(nèi),利用基爾霍夫衍射積分來(lái)模擬從透鏡平面到觀測(cè)平面的光束傳播。假設(shè)有單位振幅的均勻光束照射到 MDL 上。MDL 對(duì)偏振不敏感,我們注意到這里的所有實(shí)驗(yàn)都是用非偏振光進(jìn)行的。我們?cè)O(shè)計(jì)、制造并鑒定了λ=0.85μm的 ExDOF MDL,其參數(shù)如下:fmin=5mm,fmax=1200mm,孔徑為1.8mm。限制設(shè)計(jì)為環(huán)寬3 米,最多100個(gè)數(shù)量級(jí),最大高度為2.6μm。請(qǐng)注意,f#(NA)因焦距擴(kuò)展在2.78 (0.18) 和 555.56 (0.0009)之間而變化。衍射極限在此特定設(shè)計(jì)中,由λ/max(NA)2得出的衍射極限D(zhuǎn)OF為 26μm。因此,與衍射極限相比,DOF的增強(qiáng)值為

      即 3.8104。這種增強(qiáng)效果比之前展示的任何效果都要高出幾個(gè)數(shù)量級(jí),而且無(wú)需對(duì)圖像進(jìn)行后期處理。我們?cè)诖藦?qiáng)調(diào)的是,我們確保單個(gè)平面 MDL 能夠跨越如此大的 NA 范圍,換句話說(shuō),這導(dǎo)致了成像中的 ExDOF,衍射極限決定了距離MDL較遠(yuǎn)的焦斑會(huì)更大。

      結(jié)果與討論

      在 x-z 平面上的光強(qiáng)分布中的光強(qiáng)分布進(jìn)行了模擬,并繪制了MDL的模擬圖見(jiàn)圖。從模擬結(jié)果中可以明顯看出,焦點(diǎn)的在整個(gè)主面所需的焦距范圍內(nèi),焦點(diǎn)保持不變。觀察到MDL的FWHM在整個(gè)焦距范圍內(nèi)接近衍射極限。例如,在1200mm的距離上,F(xiàn)WHM為 524μm。相應(yīng)的測(cè)量結(jié)果如圖所示。在這種情況下,側(cè)面在所需的焦距范圍內(nèi)也得到了相當(dāng)好的抑制。例如貝塞爾光束,這對(duì)于成像極為重要。正色調(diào)光刻膠 S1813(微化學(xué))的材料色散在設(shè)計(jì)和仿真中均被假定或模擬。然后使用灰度光刻技術(shù)制造出器件。請(qǐng)注意,由于我們的制造限制,我們的最大環(huán)高為2.6μm。圖 2(a)顯示了制作好的MDL 的光學(xué)顯微照片。

      圖3。在不重新聚焦的情況下成像不同的物體距離。(a) 距離MDL不同距離u的物體的聚焦圖像在相同的圖像距離v處形成。(b)固定v和變化u的空軍分辨率圖的圖像。每行v的值是固定的,u的值記在每張圖像的括號(hào)中。(c) 對(duì)于從記錄圖像中提取的各種v值,放大率作為u的函數(shù)。在不重新聚焦的情況下以不同的圖像距離成像。

      MDL 由超連續(xù)光源發(fā)出的準(zhǔn)直光束照射。配有可調(diào)濾光片,可調(diào)波長(zhǎng)為850 nm,帶寬為15nm。帶寬為15  nm。點(diǎn)光源直接記錄在單色CMOS圖像傳感器上。將圖像傳感器放置在云臺(tái)上,在距離MDL不同距離處捕捉 PSF。然后,將這些圖像連接起來(lái),創(chuàng)建x-z切片,如圖 1(d)所示。根據(jù)這些分布,我們通過(guò)實(shí)驗(yàn) 確認(rèn)入射光始終聚焦在所需的焦距范圍內(nèi),即5-1200mm。我們還注意到實(shí)驗(yàn)結(jié)果與模擬結(jié)果一致。從模擬和從模擬和測(cè)量的PSF中提取。然后作為z的函數(shù)繪制在圖  2(b) 中。將衍射極限FWHM 也繪制出來(lái)作比較。我們注意到這三幅圖之間存在極好的一致性。我們總結(jié)了模擬的和測(cè)量的值的PSF,分別是z(MDL與圖像傳感器之間的距離)為25、50、200、500、750、1000 和 1200mm。記錄的其他一些z值的PSF也如圖 S1 所示。實(shí)驗(yàn)和模擬結(jié)果盡管我們認(rèn)為部分差異可歸因于預(yù)期的制造誤差。無(wú)論如何,MDL顯然能將入射光聚焦到其設(shè)計(jì)焦距的在其設(shè)計(jì)的焦距范圍內(nèi),入射光接近衍射極限。我們還根據(jù)測(cè)得的PSF計(jì)算了聚焦效率和調(diào)制傳遞函數(shù)與z的函數(shù)關(guān)系,并在圖S2和圖S7中分別總結(jié)了這些數(shù)據(jù)。

      圖4。(a)固定距離u處物體的聚焦圖像是在大范圍的圖像距離v處形成的。(b)固定u和變化v的空值分辨率圖的圖像。每行u的值是固定的,v的值記在每張圖像的括號(hào)中。(c) 對(duì)于從記錄的圖像中提取的各種u值,放大率作為v的函數(shù)。

      對(duì)于固定焦距(f)的傳統(tǒng)鏡頭,物距(u)和像距(v)的關(guān)系式為物距(u)和像距(v)的關(guān)系式為 1/u+ /v=1/ f 。如果u或v中的任何一個(gè)發(fā)生變化,就必須調(diào)整另一個(gè),以便獲取聚焦圖像。例如,如果物體靠近鏡頭則傳感器必須遠(yuǎn)離鏡頭(增加 v)。由于ExDOF鏡頭的焦距不是一個(gè)固定值,因此我們可以對(duì)不同距離的物體成像 (改變u),而不一定要移動(dòng)傳感器(固定  v)。在不同成像距離(改變 v)下對(duì)同一物體(固定 u)成像也是如此。為了說(shuō)明這一概念,我們使用相同的CMOS圖像傳感器拍攝測(cè)試圖像。在每種情況下,都要調(diào)整曝光時(shí)間,以確保圖像不深。此外,我們還記錄了一個(gè)暗幀,并將其從圖像中減去。在所有實(shí)驗(yàn)中  我們記錄了空值分辨率目標(biāo)在兩種不同情況下的圖像。首先,我們保持MDL與圖像傳感器之間的距離 (v) 不變,并改變MDL與物體之間的距離 (u),如圖 3(a) 所示。我們的想法是演示一種無(wú)需隨u變化而重新對(duì)焦的相機(jī)。記錄的MDL圖像如圖 3(b) 所示。每幅圖像的括號(hào)中均注明了u的值。我們注意到,MDL 能夠在u從50mm~1000mm的范圍內(nèi)形成聚焦圖像,而其聚焦效果沒(méi)有任何變化,即無(wú)需重新聚焦。根據(jù)記錄的圖像,我們可以計(jì)算出攝像機(jī)的放大倍率,并將其繪制成圖3(c)中MDL的u和v的函數(shù)圖。我們注意到,MDL可以在不改變圖像距離 (v)的情況下改變倍率。放大率是u的反函數(shù),這也是基本的幾何光學(xué)原理所預(yù)期的。為了提高原始圖像的質(zhì)量,我們采用了標(biāo)準(zhǔn)的盲去卷積法(Blind deconvolution)來(lái)提高原始圖像的質(zhì)量。

      圖5。對(duì)具有大景深的場(chǎng)景進(jìn)行成像。距離在200mm~6米之間的物體是焦點(diǎn)。圖中注明了每個(gè)物體與MDL(u)的距離。類似場(chǎng)景的視頻記錄包括可視化1和可視化2。

      在下一組實(shí)驗(yàn)中,我們保持u不變,改變v,同時(shí)記錄圖像,如圖4(a)所示。這些實(shí)驗(yàn)表明,即使圖像距離 v 變化很大,物體圖像仍能保持對(duì)焦。記錄的圖像匯總?cè)鐖D4(b)所示。我們注意到,MDL能夠在v值為5~170 mm之間形成聚焦圖像,而u值沒(méi)有任何變化。在圖 4(c)中,我們提取了相應(yīng)的放大率,并繪制了放大率隨u變化的曲線圖,根據(jù)基本幾何光學(xué)原理,放大率是 v 的線性函數(shù)。為了進(jìn)行比較,我們還在圖3和圖4中重復(fù)了相同的實(shí)驗(yàn)。使用兩個(gè)不同的菲涅耳透鏡,焦距分別為100 mm和602.5 mm,直徑為1.8  mm(與MDL相同)。毫不奇怪,傳統(tǒng)的菲涅耳透鏡不能獲得像MDL這樣大的自由度。為了完整性,我們還將MDL的聚焦性能與相同直徑的孔徑的MDL聚焦性能進(jìn)行了比較。不出所料,光圈沒(méi)有聚焦能力。最后,為了展示MDL的成像潛力,我們對(duì)包含從200到5943  mm的大自由度物體的場(chǎng)景進(jìn)行了成像。傳統(tǒng)的鏡頭無(wú)法在如此大的自由度上保持所有物體的聚焦。然而,MDL能夠在所有物體都聚焦的情況下拍攝單個(gè)圖像。該該場(chǎng)景的圖像也是用傳統(tǒng)鏡頭拍攝的,強(qiáng)調(diào)其減少的DOF。

      結(jié)論

      DOF是透鏡的基本屬性。由于認(rèn)識(shí)到透鏡主要用于強(qiáng)度成像,我們可以將像面(或焦面)上的相位視為自由參數(shù)。因此,我們可以生成一個(gè)僅有相位的瞳孔函數(shù),當(dāng)它印在光束上時(shí),焦點(diǎn)可以在比傳統(tǒng)透鏡大幾個(gè)數(shù)量級(jí)的距離內(nèi)保持接近衍射極限。我們以一個(gè)瞳孔函數(shù)建模為多級(jí)衍射透鏡的例子,演示了從 5mm~1200mm的光束聚焦。此外,我們還對(duì)物體相距近 6m的場(chǎng)景進(jìn)行了成像,所有這些物體都在聚焦范圍內(nèi)。通過(guò)遵循這一設(shè)計(jì)理念,我們相信可以實(shí)現(xiàn)大帶寬、大DOF等全新類型的平面光學(xué)器件。最后,我們還要強(qiáng)調(diào)的是,我們光學(xué)系統(tǒng)的參數(shù)并不滿足弗勞恩霍夫(遠(yuǎn)場(chǎng))近似值的要求,該近似要求 (D2/( fmax *λ)<<1),  其中D表示MDL的孔徑。在我們的MDL中等于 3.17,因此我們的系統(tǒng)屬于菲涅爾衍射系統(tǒng)。

      超透鏡 平場(chǎng)透鏡

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